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[发明专利]压力式流量控制装置-CN201480049536.0有效
发明人：平田薰;池田信一;西野功二;土肥亮介;杉田勝幸 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2014-10-15 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通路和排气出口之间连通的排气通路的主体；固定于主体的流体入口侧并对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对所述排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，并且在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，从而提高流量变更时的下降响应速度。
流体通路压力式流量控制装置控制阀排气通路压力控制流体入口排气控制开闭流孔连通变更流量控制装置流体流量控制控制阀动作压力传感器分支部位流量切换流体出口流体流量排气出口强制排气使用压力响应特性响应内压上游检测

[发明专利]压力式流量控制装置-CN201780015751.2有效
发明人：平田薰;杉田胜幸;池田信一;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-07-25 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种压力式流量控制装置(100)，其具备：控制阀(12)；压力传感器(P1)，其设置于控制阀的下游侧；流孔内置阀(16)，其设置于压力传感器的下游侧；以及控制部(5)，其连接到控制阀和压力传感器流孔内置阀具有：阀机构(15)，其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体；驱动机构(18)，其驱动阀机构；以及流孔部件(14)，其接近于阀机构而设置，并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20)，控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成
压力流量控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置-CN201480049537.5在审
发明人：广濑隆;吉田俊英;松本笃谘;平田薰;池田信一;西野功二;土肥亮介;杉田胜幸 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2014-11-25 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。
压力流量控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置-CN201080054335.1有效
发明人：日高敦志;永濑正明;土肥亮介;池田信一;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2010-08-02 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：提供一种即使是温度为100℃～500℃的高温气体、也能够使用以往的温度检测器进行误差为1.0%F.S.以下的高精度的流量控制的高温气体用压力式流量控制装置。形成有流体通路（15、16）；阀部（V），夹设在流体通路中；阀驱动部（PE、21），驱动阀部（V）将流体通路开闭；节流机构，设在流体通路的阀部的下游侧；温度检测器（TC），检测阀部与节流机构之间的气体温度；压力检测器（P），检测阀部与节流机构之间的气体压力；运算控制装置，基于温度检测器及压力检测器的各检测值运算在节流机构中流通的气体流量并且控制阀驱动部；将温度检测器（TC）插装到从上述阀身的上表面侧朝向其内方穿设在阀部与节流机构之间的出口侧流体通路的正上方的位置处的安装孔内
压力流量控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置-CN201580020604.5有效
发明人：永濑正明;平田薰;土肥亮介;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2015-07-09 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控制用控制阀(5)，其以水平姿势固定于主体(4)并对流体通路(3)进行开关；开关阀(6)，其以垂直姿势固定于主体(4)并对压力控制用控制阀(5)的下游侧的流体通路(3)进行开关；流孔(7)，其设置于开关阀(6)的上游侧的流体通路(3)；以及压力传感器(8)，其固定于主体(4)并检测压力控制用控制阀(5)和流孔(7)之间的流体通路(3)的内压，所述流体通路(3)具有：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿势的第一通路部(3a)、连接第一通路部(3a)和流孔(7)的垂直姿势的第二通路部(3b)、以及连接第二通路部(3b)和压力传感器(8)的水平姿势的第三通路部(3c)。
压力流量控制装置

[发明专利]腔室气体供给装置及采用它的腔室内压控制方法-CN200480022484.4有效
发明人：河南博;宇野富雄;土肥亮介;西野功二;中村修;松本笃咨;池田信一 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-07-28 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明防止流量的控制精度在小流量域显著降低，在整个流量控制域进行高精度流量控制，同时通过高精度流量控制可以控制宽广的腔室压力范围。具体地说，由并联连接的多台压力式流量控制装置和控制上述多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，向由真空泵排气的腔室流量控制地供给期望的气体的腔室气体供给装置中，令上述一台压力式流量控制装置为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量域的装置，令剩余的压力式流量控制装置为控制剩余的气体流量域的装置。
气体供给装置采用室内控制方法

[发明专利]带流量监控器的流量控制装置-CN201480003757.4有效
发明人：永濑正明;日高敦志;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种带流量监控器的流量控制装置，通过有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，将衰减式流量监控器部组合在压力式流量控制部的上游侧，能够接近于实时地进行流量监控，并且能够使用监控流量自动调整压力式流量控制部的设定流量，而且能够实现装置的大幅度小型化和低成本化。本发明由下述部件构成设置在上游侧的衰减式流量监控器部(BDM)；设置在其下游侧的压力式流量控制部(FCS)；将衰减式流量监控器部(BDM)与压力式流量控制部(FCS)连结，并将衰减式流量监控器部(BDM)的监控流量(Q)向压力式流量控制部(FCS)传输的信号传输电路(CT)；和设置于压力式流量控制部(FCS)，利用来自所述衰减式流量监控器部(BDM)的监控流量(Q)调整压力式流量控制部(FCS)的设定流量(Qs)的流量设定值调整机构(QSR)。
流量监控器控制装置

[发明专利]腔室的内压控制装置和内压被控制式腔室-CN200480029178.3有效
发明人：大见忠弘;寺本章伸;宇野富雄;土肥亮介;西野功二;中村修;松本笃咨;永濑正明;池田信一 -专利权人：株式会社富士金;大见忠弘
申请日： 2004-09-14 - 公布日： 2006-11-15 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室内压控制装置，通过防止流量的控制精度在小流量范围大幅下降，并在整个流量控制范围可以进行高精度的流量控制，来调节向腔室供给的气体流量并在较大压力范围高精度控制腔室内压。具体来说，向腔室供给气体的装置，由并列状连接的多台压力式流量控制装置，和控制多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，一边控制流量一边向由真空泵排气的腔室供给所希望的气体，其中，把一台压力式流量控制装置作为控制向腔室供给的最大流量的至多10％的气体流量范围的装置，把其余的压力式流量控制装置作为控制其余的气体流量范围的装置，进而在腔室上设置压力检测器并且向控制装置输入该压力检测器的检测值，调节向压力式流量控制装置的控制信号来控制向腔室的气体供给量，由此来控制腔室内压。
控制装置被控制式

[发明专利]压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法-CN200780025188.3有效
发明人：永濑正明;土肥亮介;池田信一;西野功二;平田薰;杉田胜幸;松本笃咨 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2007-06-13 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下
压力流量控制装置节流机构下游动作异常检测方法

[发明专利]原料气化供给装置-CN201280038133.7有效
发明人：永濑正明;日高敦志;平田薰;土肥亮介;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2012-06-11 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明通过能够将加热固体原料或液体原料而生成的原料蒸汽一边使用压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室稳定地供给，实现原料的气化供给装置的小型化和半导体产品的品质提高，并且能够容易地进行原料的剩余量管理本发明的原料气化供给装置由以下部分构成：原料箱，储存原料；原料蒸汽供给路，从原料箱的内部空间部将原料蒸汽向处理腔室供给；压力式流量控制装置，夹设在该供给路中，控制向处理腔室供给的原料蒸汽流量；和恒温加热部，将上述原料箱、供给路和压力式流量控制装置加热到设定温度；将在原料箱的内部空间部中生成的原料蒸汽一边通过压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室供给。
原料气化供给装置

[发明专利]压力传感器、压力控制装置及压力式流量控制装置的温度漂移修正装置-CN02808689.9有效
发明人：大见忠弘;宇野富雄;中村修;池田信一;土肥亮介;西野功二;松本笃咨;杉山一彦 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘
申请日： 2002-11-22 - 公布日： 2004-06-09 - 主分类号： G01L19/04 文献下载
摘要：开发一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置，可以自动地修正压力传感器的温度漂移，且即使温度变动，仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用的温度漂移修正装置，该压力式流量控制装置在节流装置4与控制阀22之间设有检测上游侧压力P₁用的上游侧压力传感器10，在根据上游侧压力P₁运算通过节流装置4的流量的同时，还通过控制阀22的开闭来控制通过节流装置4的流量，该压力式流量控制装置的温度漂移修正装置由测定流体温度的温度传感器14、存储流体温度T与上游侧压力传感器10的输出漂移的关系的存储机构64、以及温度漂移修正机构构成，其中，温度漂移修正机构是在流体温度T发生变化的情况下，根据存储机构64的数据运算上游侧压力传感器10的输出漂移量，根据该运算输出漂移量消除上游侧压力传感器利用该结构，可自动地修正压力传感器的温度漂移，进行正确的流量控制。
压力传感器压力控制装置流量温度漂移修正

[发明专利]质量流量控制装置-CN201580046930.3有效
发明人：广田智一;伊藤祐之 -专利权人：日立金属株式会社
申请日： 2015-08-20 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：质量流量控制装置(1)包括：流量计(2)；机械式调压阀(3)，其与流量计相邻地配置在流量计的上游侧；流量控制阀(4)，其配置在流量计的下游侧。由此，提供了一种质量流量控制装置，其即使在流量计的上游侧的压力P1发生了变动的情况下，也能够使该压力P1瞬间恢复为原来的压力，因此能够提高流量计所测量的流量的测量精度。优选机械式调压阀(3)埋设于质量流量控制装置(1)的基部(7)中。更优选质量流量控制装置(1)还包括强制地使机械式调压阀(3)开阀的强制开阀机构(10)。
质量流量控制装置

[发明专利]半导体制造装置用的气体供给装置-CN201110109144.7有效
发明人：冈部庸之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-04-28 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本发明提供不必在各个处理反应炉的每一个中设置压力式流量控制器而且能用紧凑的构造形成压力式流量控制器的半导体制造装置用的气体供给装置。气体供给装置具有气体供给源(11a、11b)、气体导入管(13a、13b)、气体集合管(15)、多个分支管(21a、21b)。在气体集合管与分支管设有压力式流量控制器(30)。压力式流量控制器具有设在气体集合管的压力检测器(17)、设在分支管的控制阀(23a、23b)及节流孔板(22a、22b)。根据来自压力检测器的检测压力(P1)，在流量运算电路中求出流量(Qc)，根据来自流量设定电路的流量设定信号(Qs)和来自流量运算电路的流量，利用运算控制电路来控制控制阀。
半导体制造装置气体供给

[发明专利]流量范围可变型流量控制装置-CN200680023200.2有效
发明人：大见忠弘;斋藤雅仁;日野昭一;岛津强;三浦和幸;西野功二;永濑正明;杉田胜幸;平田薰;土肥亮介;广濑隆;筱原努;池田信一;今井智一;吉田俊英;田中久士 -专利权人：株式会社富士金;国立大学法人东北大学;东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-06-22 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： G05D7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P₁以及或者节流孔下游侧压力P₂而以Qc＝KP₁(K为比例常数)或者Qc＝KP₂^m(P₁－P₂)ⁿ(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通
流量范围变型控制装置

[发明专利]簇化流体的流量控制方法以及该方法中所使用的簇化流体用流量控制装置-CN200480002284.2有效
发明人：大见忠弘;杉山一彦;水泽兼悦;高桥荣治;宇野富雄;西野功二;土肥亮介;池田信一;永濑正明 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘
申请日： 2004-01-16 - 公布日： 2006-02-22 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明使得能够使用压力式流量控制装置，在3～300SCCM左右的流量范围内，对供给真空腔室等的HF气体等簇化流体高精度地进行流量控制。具体地说，使用压力式流量控制装置的簇化流体的流量控制方法是下述方法，即在节流孔上游侧的气体的压力P₁与节流孔下游侧的气体的压力P₂之比P₂/P₁保持在气体的临界压力比以下的状态下，在节流孔中流通的气体的流量Q按照Q＝KP₁(其中，K为常数)进行运算，其中，将前述压力式流量控制装置加温到40℃以上
流体流量控制方法以及使用装置

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